通常的表面處理方法很難將雜質從復雜結構部件的細縫、低坑等死角處清理出來，因為液體在那里的流速實際上等于零，但是超聲波對解決這個問題很有幫助。超聲渡的原理是由高頻發生器與換能器將電磁振動能轉變為機械振動能，當清洗時超聲波傳給清洗劑，清洗劑以同樣的頻率進行高頻振動，于是在被清洗物的表面產生很大的機械沖刷力將雜質油污撕掉或沖擊出來，因此，使清洗速度和效率大大加快，同時清洗效果也是很理想。但是，這種方法比較適用于小型的復雜部件。用超聲波脫脂時，可以依次使用不同溶劑，這主要與被清洗的污物種類有關。比較典型的處理次序為：清潔劑溶液一水—醇—烘干，然后再經三氯乙烯一醇一烘干。