對于需要精確的溫度控制或需要操作者經常觀察的情形，必須把加工單元的部分或全部 置于室內。對于室內裝置，主導風和隔開距離這兩個工具的重要性大大降低。在室內無主導 風；隔開距離會增加建筑物的建筑面積而使財政負擔加重。即使隔開距離不會增加建筑費用， 在室內距離的作用也會降低。在室內釋放出的毒性或易燃蒸氣會留存在建筑物內，而不會像 室外那樣迅速擴散。然而仍然可以采用其他一些方法，如物理屏障等，實現室內裝置的隔離。 如果火源和易燃物源兩者都必須設在室內，最好把它們分置在建筑物的分隔間內。火源和易 燃物源隔離墻的門或開口，易燃蒸氣或液體能夠從中通過接近火源，應該保持在最小數量。 特別易于起火、爆炸或釋放毒物的設施，如高溫、高壓或大容量的容器，應該與像控制中心 這樣的經常有人員的區域隔離開。實現隔離目的的墻壁也應該有最小數量的開口，同時這些 墻壁還應該進行強度和耐火設計。容易經受爆炸的隔離間可以有一面或多面有意設計的強度 較弱的墻壁，以便在避開人員或其他設施的方向卸掉爆炸力。
    多層或階梯式建筑有本身特有的地勢問題。易燃或毒性液體源不應該設置在火源或人員 之上。如果包含蒸氣，火源或人員的位置則取決于蒸氣的密度比空氣大還是比空氣小。
    如前所述，危險的集中有助于確定特別危險區的界限。此外，危險的集中會增進提供具 體安全設施的可行性。可以提供的安全設施有：
    (1)高容量的通風系統，有助于保持空氣-蒸氣或空氣-粉塵混合物在其爆炸極限之下；
    (2)高容量的排水系統，很快排除泄漏的液體；
    (3)遙控操作加工裝置；
    (4) 自動滅火裝置，如水噴霧、蒸氣覆蓋、泡沫或惰性氣體系統。
    對于幾個危險裝置集中于室內某個區域或分隔間的情形，只有上述安全設施是不夠的。 這些裝置，由于其與人或其他裝置的靠近，還必須考慮它們復合的危險作用。
    與室外設施相比，需要更加嚴格地規范從室內裝置撤退的通路。在室內，很難過分強調 精細設計的平臺、扶梯、人行道、出入口或滑運斜道系統的需要。永久平臺應該供作單元中 所有無法拾階而上的操作點的進出口，所有操作平臺(塔器平臺可能例外)都應該有兩種下行 方法，防止緊急狀態時截流操作人員。從高架平臺向下的所有扶梯和滑梯孔道，都應設在最 小可能遭受火險或毒物泄漏的地點。扶梯或滑梯的著陸點應該接近易于從單元撤退的通路。塔器的人孔平臺應該有塔內件安全維護的充分的工作空間，打開人孔的方向應該避開從平臺 向下的扶梯。